微机电系统 (MEMS) 是一种使用半导体制造工艺（例如离子注入、扩散、氧化、溅射等）并结合专门的微加工技术来制造微型化机械和机电部件的技术。机械部件和控制它们的电子设备都内置在同一块硅片中，由此产生的设备也称为 MEMS。

       2023年11月5日，由北京理工大学与重庆西永微电子产业园共建的北京理工大学重庆微电子研究院（简称北理微电院，CiMEMS）传来喜讯。CiMEMS微纳制造工艺线在西部（重庆）科学城西永微电子产业园顺利通线，项目一期投资近1.5亿元。

       MEMS 制造技术必须考虑三个特征：(a) 微型化允许制造紧凑和快速响应的设备，(b) 多样性是指制造技术的能力，半导体工艺中固有的，可以产生数千或数百万多个单元并发，以及 (c) 微电子技术将传感器、执行器和逻辑合并到一个单元中，以便可以实施反馈（智能）机制。

       菲奈蒂克，在湿法设备耗材领域不仅仅满足于为客户献上卓越的产品与服务，更积极寻找并携手各类优秀企业、高等学府，共建战略合作伙伴关系。今天，我们荣耀地宣布，菲奈蒂克已成为北京理工大学重庆微电子研究院的赞助商及供应商。

       我们与北理工重庆微电子研究院达成了战略合作。在这片繁荣昌盛的科技领域，我们共同探索、前行，为推动行业的发展贡献力量。菲奈蒂克与北理工重庆微电子研究院的这次合作，我们期待在这场科技盛宴中，与北理工重庆微电子研究院共同书写新的篇章，为未来的科技发展注入更多的活力与创新。

图为展会现场

       CiMEMS微纳制造工艺线成功通线，标志着北理微电院在MEMS芯片领域具备了全链条创新策源能力。从前瞻性科研、产业应用设计，到生产与工艺迭代优化，再到封装与测试，北理微电院已成功打通了一条龙服务。他们的成果将为重庆打造33618现代制造业集群提供“国内领先、国际一流”的MEMS芯片产品与服务。这标志着北理微电院在MEMS芯片领域已经站在了国内的前沿，并向着国际一流水平迈进。